首页 > DHM新闻 > 正文

上海瞬渺与ENERGETIQ签定正式代理协议
2013-05-17 15:56:28   来源: 瞬渺市场部   评论:0 点击:

技术介绍:电极激光驱动光源技术Energetiq自主研发的激光驱动光源(LDLS)技术使用连续激光直接加热氙离子至需要的温度,以产生高效的宽频谱光。使用传统的方法,如弧光灯,氘灯,当使用电极连接电源和等离子体时...
EQ-99 Manager
技术介绍:
电极激光驱动光源技术
Energetiq自主研发的激光驱动光源(LDLS)技术使用连续激光直接加热氙离子至需要的温度,以产生高效的宽频谱光。使用传统的方法,如弧光灯,氘灯,当使用电极连接电源和等离子体时,灯的亮度,紫外能量,使用寿命非常有限。无电极的LDLS技术可以产生少量,高亮度的等离子体,以获取高效的光源,光谱范围包括从深紫外到包括可见光及以上的谱线,并且延长了灯的使用寿命。
․革命性的新技术---连续激光等离子放电
․宽谱线,高亮度
  从170nm到包括可见光区至1000nm以上。
 
无电极Z箍缩等离子体技术
已知的Z箍缩等离子体技术在产生EUV和SXR光时,性能优越。然而,所以目前使用的方法都需要使用电极传导高的放电电流。要产生EUV光,电极需要接触极高温度的等离子体(约500,000℃),此做法会导致电极腐蚀,开裂,甚至熔化。对于连接到光源的任何光学系统,电极残片成为重要的污染源。
Energetiq独特的工艺技术也是基于Z箍缩等离子体技术,但在该过程中避免使用电极,而用诱导方式将电流连入等离子体。Energetiq光源的等离子体被磁性束缚在光墙内,达到热负荷极小化,也极大减少污染残片。
․独特的无电极,无电极电流设计
  --无电极,--无电极残片
․等离子体被磁性束缚,以远离光源组件
--进一步减少残片污染
․磁束缚提供极好的空间稳定性
․低成本,结构简单
 
纯相位空间光调制器详细资料下载

相关热词搜索:上海 ENERGETIQ 签定

上一篇:瞬渺光电建立北京物流中心
下一篇:上海瞬渺与德国ALS签定代理协议

分享到: 收藏
评论排行